半導體電阻率測試儀是根據四探針原理，適合半導體器材廠，材料廠用于測量半導體材料的電阻率，方塊電阻(簿層電阻)，也可以用作測量金屬薄層電阻，經過對用戶、半導體廠測試的調查，根據美國ASTM標準的規定，在電路和探頭方面作了重大的修改和技術上的許多突破，它更適合于半導體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀。
本儀器具有測量精度高，穩定性好，重復性好，輸入阻抗高，使用方便等特點，并有自校功能。
半導體電阻率測試儀采用通用的電流-電壓降法即四端子測量法，可以消除電極與粉末接觸產生的接觸電阻誤差，還可以消除聯接系統所帶來的誤差，克服了以往傳統的二端測量粉末電阻率儀器的弊病，真實、準確地測量出粉末樣品的電阻率，因此重復性好。
半導體電阻率測試儀是為了適應當前迅速發展中的高分子半導電納米材料電阻率測試需要，參照有關標準設計的。儀器直接采用數字顯示，儀器的可靠性和穩定性大大增強，更方便于用戶，而且價格低廉、實惠。配置不同的測試架可以對半導體粉末、高分子納米粉末進行電阻、電阻率多用途的測量。
半導體電阻率測試儀適用于有機、無機半導體粉末材料的電阻率測量，特別適合于太陽能多晶硅、硅粉質量的測量、分選和質量控制。電阻率值直接數字顯示由具有高精度加壓系統，高度測量的測試臺和儀器組成。
半導體電阻率測試儀主要包括電氣箱和測試架兩部分，電氣測試部分由高精度直流數字電壓表和直流恒定電流源組成。測試架為壓力傳感器，加壓機構和粉末標準容器組成。壓力機構采用手動操作、壓力平穩。半導體電阻率測試儀適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門、是檢驗和分析固態、粉態和納米樣品質量的一種重要工具。
